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CVD管式爐在使用前要做好哪些準備工作？
更新時間：2022-06-13 點擊次數：3115
CVD管式爐是一款在沉底材料上生長高質量石墨烯、碳納米管、碳化硅的設備，廣泛應用于在半導體、納米材料、碳纖維、碳化硅、鍍膜等新材料新工藝領域。
CVD管式爐的使用方法：
準備工作：
1、設計升降溫曲線，升溫速率不得高于10℃/分鐘，降溫速率應低于15℃/分鐘。
2、清掃環境。
3、每周開始使用時，檢查機械泵油線處于標線以上，拆除兩端蓋，用吸塵器清潔剛玉爐管。
4、將樣品舟推入剛與管爐膛中部（恒溫長度10cm）。
5、塞上兩塊隔熱爐塞，使第二個爐塞的末端與爐體側面平齊。
6、裝上氣爐法蘭，確認密封墊落入槽中。
開爐：
1、開啟總電源，風扇啟動。
2、開面板電源（順時針轉動Lock旋鈕），啟動面板。
3、使儀表處于初始狀態（即PV顯示數值，SV閃爍顯示Stop），此時若不處于該狀態，則按向上鍵對儀表清零，使儀表只處在測顯狀態。
4、按向左鍵1秒，進入溫度設定狀態，通過按向左鍵移動光標，按向上鍵和向下鍵來調節溫度的設定數值。
5、按回車鍵1秒，進入時間設定狀態，通過按向左鍵移動光標，按向上鍵和向下鍵來調節時間的設定數值。
6、程序后一步為時間狀態，數值為-121，以結束全部程序，按回車鍵確定。
7、按住向左鍵不放，然后按下回車鍵，則退出程序設置。
8、按向左鍵進入程序設定狀態，再連續按回車鍵檢查設定的程序是否符合預定的升降溫曲線。
9、按住向左鍵不放，然后按回車鍵復位。
10、按回車鍵2秒，進入基本參數設置，連續按回車鍵檢查基本參數（n5=389.7，p=15，t=10，ctrl=3，opl=28）。
11、按住向左鍵不放，然后按回車鍵，復位、
12、按回車鍵1秒，檢查是否為STEP1，即程序從步開始執行。
13、按住向左鍵不放，然后按回車鍵，復位。
14、按向下鍵2秒，SV顯示Run運行程序。
15、按綠色TurnOn鍵，啟動加熱電源，觀察電流表、電壓表：（若工作電流超過150A持續幾秒鐘，按下Turnoff鍵斷開加熱電源，檢查功能參數的設定）。
16、在使用惰性氣體做工作氣體時，升溫過程中嚴密注意壓力表，如壓力高于0.08MPa，立即打開出口閥放氣。
17、在使用氫氣做工作氣體時，降溫過程中要注意監視錐形瓶中出氣的情況，如果有倒吸情況，應立即逆順時針調節流量計旋鈕，增加進氣量。
18、操作者在升溫、保溫、降溫過程中不得離開，如遇跳閘，要立即合閘供電。
